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    光刻機巨頭ASML擴產EUV與DUV設備

      據中國臺灣經濟日報,光刻機巨頭阿斯麥宣布擴產EUV與DUV乃至于下世代EUV設備計劃。業界預計,從客戶應用來看,晶圓代工需求最強,特別是先進制程技術投資不易降低,將持續帶動阿斯麥長期增長明朗。阿斯麥說明,計劃將年產能增加到90臺EUV和600臺DUV系統(2025-2026年),以及20臺High-NA EUV系統(2027-2028年)。

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