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    中微公司第2000個CCP刻蝕設備反應臺付運客戶

      近日,中微半導體設備(上海)股份有限公司的電容耦合高能等離子體(CCP)刻蝕設備第2000個反應臺順利付運國內一家領先的半導體制造商。本批次運付客戶的CCP刻蝕設備反應臺有Primo AD-RIE 及Primo HD-RIE 系列產品,均來自該客戶的重復訂單。

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