青島高新區：向“芯”突破，打造半導體產業高地

近日，青島高新區2022年春季10個重點項目正式啟動建設。其中，總投資7億元的華芯晶元第三代半導體化合物晶片襯底項目，將建設半導體襯底智能生產工廠，加工生產新一代晶片襯底產品，有效突破我國芯片制約性難題。

作為新一代信息技術產業的細分領域，半導體一直是青島高新區產業布局的重點方向，目前已有20多家上下游企業在這里集聚，形成了包括芯片設計、封裝測試、設備制造、材料加工等在內的半導體全產業鏈雛形。

▲工作人員正在對半導體產品進行檢測

年產33萬片，助力突破芯片難題

近日，在青島高新區，華芯晶元第三代半導體化合物晶片襯底項目正式啟動建設，該項目采用碳化硅、氮化鎵、氧化鎵等第三代半導體化合物材料加工生產相關芯片襯底產品，廣泛用于光電子器件（激光器、探測器等），大功率器件（充電樁、新能源汽車動力組件、軌道交通、特高壓輸電組件等），及通訊微波射頻器件（4G、5G通訊基站）。

“我們深耕半導體化合物基礎材料研發和生產多年，具備了藍寶石、磷化銦、碳化硅、氧化鎵等一系列第二代、第三代半導體化合物的技術儲備和產業化能力，致力于打造青島市半導體產業鏈科技創新平臺?！鼻鄭u華芯晶元半導體科技有限公司董事長肖迪表示。氧化鎵晶體是一種新型的超寬禁帶半導體，它具有禁帶寬度更大、吸收截止邊更短、生長成本更低等突出優點，成為超高壓功率器件和深紫外光電子器件的優選材料之一。由于在軍事、能源、醫療、環境等領域有重要應用價值，近年來，氧化鎵材料及器件的研究與應用，呈現出顯著的加速發展勢頭，是當前德國、日本、美國等國家的研究熱點和競爭重點。

據悉，該項目將建設半導體襯底智能生產工廠，加工生產新一代晶片襯底產品，助力突破我國芯片制約性難題，達產后將實現年產第三代大尺寸半導體化合物晶片襯底33萬片，年產值5億元。該項目的順利開工，標志著華芯第三代半導體材料批量生產進入了實質性階段，為我國第三代半導體的產業化邁出了堅實的一步。

“鏈式”招引，貫通上下游產業鏈

華芯晶元第三代半導體化合物晶片襯底項目的落地，加速了半導體產業在青島高新區的集聚，也為青島新一代信息技術產業增添了強勁的“芯”動力。

▲各種規格的半導體晶片

作為新一代信息技術產業的細分領域，半導體一直是青島高新區產業布局的重點方向。據青島高新區新一代信息技術產業事業部相關工作人員介紹，半導體產品生產流程十分復雜，大致可分為設計、制造、封裝、測試等環節，而青島高新區的半導體產業大致可分為設備類、材料類、設計類、制造類等。

在設備類的企業中，埃地沃茲真空泵制造（青島）有限公司、高測股份、青島賽瑞達電子科技有限公司是代表企業。其中，埃地沃茲是世界500強企業阿特拉斯·科普柯集團旗下的品牌企業，其產品半導體真空設備干泵的全球市場占有率連續多年超過50%，成為該領域世界第一品牌?！拔覀兊暮献骰锇榘ň〇|方、長江存儲、三星、臺積電和富士康等半導體領域知名企業?！?埃地沃茲真空泵制造（青島）有限公司相關負責人介紹，真空泵市場在持續膨脹中，尤其是中國市場已進入快速增長期，發展前景廣闊。

青島嘉星晶電科技股份有限公司則是一家專注從事半導體材料研發、半導體設備生產、半導體技術服務的國家高新技術企業?！拔覀兩a的藍寶石襯底晶片被廣泛應用于半導體及微電子行業、照明行業、手機電子消費品等領域，在藍寶石襯底領域約占全國10%的市場份額?！奔涡蔷щ娤嚓P負責人表示。

傳感器素有“電子五官”之稱，是一切數據信息獲取的功能器件。青島智騰微電子有限公司專注于高端傳感器和厚膜混合集成電路的設計研發和生產制造，重點從事加速度傳感器、定向傳感器、慣性導航測量設備等產品研制生產……

共抓產業鏈，貫通上下游。如今，已有20多家半導體產業上下游企業在青島高新區集聚，涵蓋芯片設計、材料加工、裝備制造、應用開發等領域，產業鏈初具規模。

提升服務，優化半導體產業生態

加大項目招引力度，打通產業發展鏈條，服務也必須跟得上。這一點，華芯晶元第三代半導體化合物晶片襯底項目負責人吳志濤感慨頗深，“我們的建設工程許可證本來需要一周左右的時間，現在兩天就辦好了。”吳志濤表示，青島高新區專門成立了項目推進部，專人協助辦理相關事項，項目所需各項手續并聯審批、壓茬推進，實現了高效率落地開工。這也讓肖迪對未來充滿信心，“我們會努力將第三代半導體化合物晶片襯底項目建設成樣板工程、精品工程，為青島乃至全國的第三代半導體材料的自主研發和生產奠定基礎。”

眾多周知，半導體產業的發展有利于突破諸多“卡脖子”的難題，為此，青島高新區對半導體產業發展給予了重點支持，如設備、流片補貼，相關人才政策，便利審批服務，企業網格員服務等?！按舜我M半導體項目的落地，將有效帶動高新區半導體產業快速發展，加快區域半導體產業結構轉型升級，強化相關產業鏈上下游集群效應，對推動高新區、青島乃至山東省在先進半導體材料行業的技術進步具有示范效應?！鼻鄭u高新區招商部相關負責人表示。

伴隨一個個關鍵項目的加快落地，青島高新區的半導體產業鏈條也日漸完備起來。下一步，青島高新區將從芯片設計、半導體設備制造、封裝測試、二代和三代半導體材料生產及加工等半導體產業細分領域入手，繼續擴充半導體產業儲備資源。與此同時，不斷優化營商環境，吸引更多優質項目及高端人才來青島高新區發展，進一步完善產業鏈條，撬動發展強動能，營造良好的產業生態，打造半導體產業高地。

青島財經日報/首頁新聞記者 孫夢 通訊員 肖玲玲 李青健